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组合结构的牺牲层释放腐蚀修正模型
Eaton等人曾给出了HF溶液腐蚀SiO2牺牲层的释放腐蚀模型,然而实验中发现该模型并不能较好地符合实验数据。经分析发现该模型中扩散......
期刊
牺牲层
释放腐蚀
模型
腐蚀前端
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etch front
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